1、光刻机《这些“细节”让中国难望顶级光刻机项背》(科技日报4月19日)制造芯片的光刻机，其精度决定了芯片性能的上限。在“十二五”科技成就展览上，中国生产的最好的光刻机，加工精度是90纳米。这相当于2004年上市的奔腾四CPU的水准。而国外已经做到了十几纳米。光刻机里有两个同步运动的工件台，一个载底...
